Интерферометр Zygo New View 5022
Сканирующий интерференционный микроскоп белого света NewView 5022 – это универсальный прибор для трёхмерного анализа геометрической структуры поверхности различных объектов, изготовленных из
Сканирующий интерференционный микроскоп белого света NewView 5022 – это универсальный прибор для трёхмерного анализа геометрической структуры поверхности различных объектов, изготовленных из разного материала: металла, керамики, стекла и т.д.. Он создаёт графические изображения и проводит их цифровой анализ с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности исследуемого объекта. На основе данных об относительной высоте микроскоп позволяет определять:
- параметры шероховатости поверхности, нормируемые в отечественных и международных стандартах;
- радиус кривизны поверхности, в том числе радиус сферы;
- относительную высоту.
Проведенные экспериментальные исследования модернизированных интерференционных микроскопов на наборе мер нанометрового диапазона показали, что они обеспечивают измерения параметров шероховатости и рельефа с неопределенностью ?/800 мкм.
